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“蚌埠造”MEMS红外温度传感器亮相珠海航展

  9月28日,第十三届中国国际航空航天博览会在珠海开幕,中国兵器工业第二一四研究所(又称华东光电集成器件研究所)作为兵器工业集团微电子器件研制单位,携自主研发的高精度MEMS红外温度传感器,在“数字集成电路设计与生产制造”展区参展。

  该款高精度MEMS红外温度传感器,是一种基于“塞贝克”效应的非接触测温传感器,生产工艺采用先进的MEMS膜桥工艺技术,芯片面积、响应率等关键指标达到国际先进水平,产品具有体积小、功耗低、响应率高、反应速度快、可靠性好等特点,主要应用于医疗、工业、安防、家电、汽车等领域,用户使用效果良好,累计销售超2000万颗,在2020年阻击新冠疫情中取得显著的社会效益。

  据悉,兵器214所拥有多套成熟的MEMS传感器工艺技术和平台,产品实现系列化、规模化,成为发展的支柱产业。

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