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薄膜磁阻传感器及其应用

  薄膜磁阻传感器及其应用 过壁君 【期刊名称】《电子元件与材料》 【年(卷),期】1994(013)005 【摘要】利用薄膜工艺和微细加工技术,将NiFe合金或NiCo合金真空 蒸镀或溅射在玻璃或石英基片上,制作的磁阻传感器有广泛的用途。 【总页数】4 页(56-59) 【关键词】传感器;薄膜;磁阻传感器 【作者】过壁君 【作者单位】无 【正文语种】英文 【中图分类】TP212 【相关文献】 1.薄膜磁阻传感器及其应用(续) [J], 过璧君 2.薄膜磁阻传感器及其应用 [J], 过璧君 3.薄膜温度传感器有研制及应用 [J], 安保合 4.基于薄膜磁阻传感器的弱磁测量系统的设计 [J], 白慧 5.新型 InSb-In 薄膜磁阻式振动传感器的设计 [J], 王蕊; 黄钊洪; 李敏毅 以上内容为文献基本信息,获取文献全文请下载

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