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一种薄膜磁阻传感器元件及薄膜磁阻电桥

  (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN102721427A (43)申请公布日 2012.10.10 (21)申请号 CN1.1 (22)申请日 2012.06.20 (71)申请人 无锡乐尔科技有限公司 地址 214028 江苏省无锡市新区长江路 7 号科技园一区 204 室 (72)发明人 王建国 (74)专利代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 楼高潮 (51)Int.CI G01D5/12; G01R33/09; G01R17/00; 权利要求说明书 说明书 幅图 (54)发明名称 一种薄膜磁阻传感器元件及薄膜磁阻电桥 (57)摘要 本发明涉及一种薄膜磁阻传感器元件,包 括下电极、种子层、反铁磁钉扎层、磁性被钉扎 层结构、非磁性隔离层、磁性自由层、保护层、 上电极、偏磁层。本发明还涉及包含本发明的薄 膜磁阻传感器元件的电桥。本发明的薄膜磁阻传 感器元件及其组成的电桥的特点是:磁滞小,精 度和线性度高,线性范围可调,工艺简单,响应 频率高,成本低,抗干扰性强和温度特性好。 法律状态 法律状态公告日 2012-10-10 2012-11-28 2013-03-20 2014-06-04 2015-05-20 法律状态信息 公开 实质审查的生效 专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 授权 法律状态 公开 实质审查的生效 专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 授权 权利要求说明书 一种薄膜磁阻传感器元件及薄膜磁阻电桥的权利要求说明书内容是....请下载后查看 说明书 一种薄膜磁阻传感器元件及薄膜磁阻电桥的说明书内容是....请下载后查看

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